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ARCSIS 88

Modèles prédictifs de procédés BEOL de métallisation au-delà du 65 nm

Recherche sur le développement et validation de modèles pour la simulation numérique d’ étapes clefs de fabrication des filières microélectroniques

Il s’agira de réaliser une démonstration de faisabilité de prédictions de propriétés telles que: topographie, arrangement 3D des grains et joints de grains, contraintes, rugosité d’interfaces, pour des lignes et vias au-delà de 65nm.

Cette étude répond à certains nombres de besoins TCAD prioritaire identifié dans la roadmap internationale de l’industrie des semi-conducteurs.