Porteur du projet
Ion Beam ServicesPartenaires
R2D Ingénierie, IBS, MGP Instruments, Metraware, LP3, GREMIFinanceurs
FUI,
ALDIP
Activation Laser de Dopants implantés par Immersion Plasma
Activation sans dégradation thermique du substrat
Activation très haute température pour matériaux fort gap
Activation sans diffusion pour microélectronique avancée