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CAPUCINE

Capteur Multi-fonction à Nanofil de Silicium

Ce programme de recherche industrielle vise la réalisation d’un capteur 6 axes (accéléromètre 3 axes et magnétomètre 3 axes, dit 3A3M), basé sur un concept innovant et une technologie de type microélectronique avancée utilisant des nanofils silicium.

L’objectif principal est la conception et la réalisation technologique de capteurs 3A3M très basse consommation et ultra-miniaturisés, ayant un coût inférieur aux capteurs MEMS existant (capteur effet Hall, et accéléromètre MEMS capacitif), et avec des performances nettement améliorées, notamment vis-à-vis de la consommation, de la précision, de l’étendue de mesure, et de la simplicité d’assemblage.

Nous nous plaçons avant tout dans une approche visant les marchés grand public comme la capture de mouvement pour des applications relatives à la santé, au sport, aux loisirs et à la téléphonie mobile. A ce titre, un lot de démonstrateurs visant ces marchés sera conçu, réalisé et caractérisé durant ce projet.