Porteur du projet
ORSAY PHYSICSPartenaires
MUQUANS, AZUR LIGHT SYSTEMS, Laboratoire Aimé Cotton, Laboratoire Photonique, Numérique et NanosciencesFinanceurs
FUI,COLDFIB
Le Défi du Nano Usinage
Le monde des composants électroniques évolue régulièrement vers la miniaturisation en intégrant un nombre de plus en plus important de transistors. Les dimensions étant de plus en plus petites (technologie 10 nm, 7 nm voire 5 nm), les instruments d’ions focalisés (FIB), atteignent leurs limites. Il est donc nécessaire de réaliser une rupture technologique afin de pouvoir observer, analyser et modifier des composants et structures à d’ions obtenue à partir d’ions aux performances inégalées et d’applications comme la micro-électronique, dobjets nanométriques et cela avec des résolutions ultimes.
Voir la fiche projet > Cliquer ici