Porteur du projet
CEPRIM TechnologiesPartenaires
ST Microelectronics, Global Technologies, INP Grenoble SIMAP, INP Grenoble LEPMIFinanceurs
FUI,
OSIRIS
Ultrason probe card cleaner and selective etching
Etude et développement d’une machine de nettoyage et de micro-usinage par « gravure sélective » : Ultrason, sans contact mécanique des pointes des cartes de test pour le tri électrique des plaquettes de semi-conducteurs.
Le procédé est basé sur la génération d’ultrason dans l’eau à très haute fréquence, son avantage est l’absence de contraintes mécaniques nuisibles à la structure et à la géométrie des pointes de test, il offre la possibilité de remettre en forme celles-ci sans les déformer.
Le bénéfice est une durée de vie des cartes à pointes accrue, une amélioration des rendements de tri et une diminution des coûts de Test.